洁净车间的空气净化系统是其空气质量得以保障的主要原因。这些系统通常由空气过滤器、风机、送风管道和排风装置等组成。其运作原理可以概括为：将室外新鲜空气或经过预处理的空气送入车间，通过高效过滤器去除空气中的尘埃粒子和微生物，然后将净化后的空气均匀送入车间各个角落，将车间内的污浊空气排出。高效过滤器是空气净化系统中的关键部件，它能够过滤掉空气中99.97%以上粒径大于0.3微米的尘埃粒子，确保车间内空气的洁净度。此外，一些洁净车间还会配备紫外线杀菌灯或臭氧发生器，以进一步杀灭空气中的微生物，提高空气质量。
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