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2026-01

星期 五

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半导体零部件作为构成半导体设备的基础单元,承担着实现设备各项重点功能的重要角色。无论是晶圆加工设备中的精密传动组件,还是检测设备里的信号处理模块,每一类半导体零部件都有其特定功能定位,共同支撑设备稳定运行。例如,在光刻设备中,定位

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2026-01

星期 五

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随着半导体晶圆向大尺寸、超薄化方向发展,静电卡盘也在通过技术升级持续提升吸附稳定性和适配性。在吸附稳定性方面,新一代静电卡盘优化了电极结构设计和电压控制算法,能根据晶圆材质和尺寸自动调整静电场强度,即使面对表面不平整的晶圆,也能实

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2026-01

星期 五

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射频电源在“全生命周期成本优化”方面具有突出价值,通过低故障率、易维护性与高能效特性,降低射频系统从部署到报废的全周期成本。从初期部署来看,射频电源的宽适配性可减少设备采购,降低初始投入;从运维阶段来看,其结构设计简化,关键部件模

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2026-01

星期 四

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射频发生器的关键作用在于通过“精确信号生成”功能,为各类射频系统提供稳定、标准的射频信号源,解决射频链路中“信号源头缺失”的关键问题,支撑后续信号传输、处理与应用环节的正常运行。在射频通信、测试测量、工业加热等系统中,所有射频相关

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2026-01

星期 四

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半导体加热器凭借精确的温控能力,普遍应用于半导体制造中的晶圆退火、薄膜沉积、封装固化、光刻胶处理等多道重点工序。在晶圆退火工序中,它用于消除晶圆加工过程中产生的内应力,改善晶体结构,提升晶圆的电学性能;在薄膜沉积工序中,需通过半导

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